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一种应用于半导体设备的真空机械手，兼容高真空度，日本JEL品牌机械手，联动型设计，0~330°摆动角度，应用在晶圆搬运场合，单臂长260mm，机械手可伸出长度（不算手指）520mm，另附二维尺寸图纸，供方案参考使用。
一种半导体设备真空机械手
图纸描述
一种应用于半导体设备的真空机械手，兼容高真空度，日本JEL品牌机械手，联动型设计，0~330°摆动角度，应用在晶圆搬运场合，单臂长260mm，机械手可伸出长度（不算手指）520mm，另附二维尺寸图纸，供方案参考使用。
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图纸信息
作者
小欢喜
已分享: 份作品
文件列表
| # | 文件名称 | 大小 |
|---|---|---|
| 1 |  200工件.SLDPRT | 66.18K |
| 2 |  SVCR2260-PM.pdf | 198.35K |
| 3 | ZKJXS ARM1-SV260.sldprt | 61.62K |
| 4 | ZKJXS ARM2-SV260.sldprt | 142.21K |
| 5 | ZKJXS BODY-SVCR2260.sldprt | 262.05K |
| 6 | ZKJXS PIPE-SVCR2260.sldprt | 28.87K |
| 7 |  ZKJXS SVCR2260-PM .SLDASM | 374.4K |
| 8 | 零件1306^SVCR3260-020-PM-19017A.sldprt | 178.04K |
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