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晶圆传送机械手设计
图纸描述
晶圆传送机械手设计图纸下载，该图纸类型属于机械设备、自动化设备图纸，图纸大小20.56M，共计80个文件，包含3D图纸和2D图纸，图纸主格式为sldprt,sldasm,dwg，使用SOLIDWORKS 2022软件制作，可编辑包含特征参数，该机械图纸可直接下载使用，可供设计参考。
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图纸信息
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文件列表
| # | 文件名称 | 大小 |
|---|---|---|
| 1 |  晶圆传送机械手设计ppt.pptx | 1.41M |
| 2 |  设计说明书.docx | 1.82M |
| 3 |  丝杠.SLDPRT | 1.45M |
| 4 | 丝杠螺母.SLDPRT | 105.43K |
| 5 | 主支撑架.SLDPRT | 67.99K |
| 6 | 侧板.SLDPRT | 64.94K |
| 7 | 切除-拉伸22[5].SLDPRT | 64.87K |
| 8 | 切除-拉伸22[7].SLDPRT | 59.44K |
| 9 | 切除-拉伸24[1].SLDPRT | 147.09K |
| 10 | 前后板.SLDPRT | 59.06K |
| 11 | 吸盘.SLDPRT | 49.79K |
| 12 | 吸盘固定螺母.SLDPRT | 48.19K |
| 13 | 吸盘垫片.SLDPRT | 43.73K |
| 14 | 圆晶.SLDPRT | 43.42K |
| 15 |  圆晶机械手.SLDASM | 6.07M |
| 16 | 圆角9.SLDPRT | 45.19K |
| 17 | 导轨.SLDPRT | 46.47K |
| 18 | 底座.SLDPRT | 72.11K |
| 19 | 手臂1固定盖.SLDPRT | 51.37K |
| 20 | 手臂2上盖.SLDPRT | 55.03K |
| 21 | 托盘轴承.SLDPRT | 49.76K |
| 22 | 托盘轴承2.SLDPRT | 46.65K |
| 23 | 托盘轴承支架.SLDPRT | 47.67K |
| 24 | 托盘轴承法兰.SLDPRT | 49.97K |
| 25 | 支架1.SLDPRT | 113.92K |
| 26 | 无框电机.SLDPRT | 53.02K |
| 27 | 无框电机2.SLDPRT | 52.56K |
| 28 | 无框电机3.SLDPRT | 53.36K |
| 29 | 正空泵电机.SLDPRT | 46.00K |
| 30 | 气管.SLDPRT | 49.59K |
| 31 | 泵座.SLDPRT | 58.80K |
| 32 | 深沟球轴承.SLDPRT | 45.43K |
| 33 | 电机.SLDPRT | 139.84K |
| 34 | 电机座1.SLDPRT | 52.09K |
| 35 | 电机支撑架.SLDPRT | 129.20K |
| 36 | 盖板1.SLDPRT | 57.04K |
| 37 | 盖板2.SLDPRT | 57.28K |
| 38 | 直线轴承.SLDPRT | 48.04K |
| 39 | 直线轴承2.SLDPRT | 48.20K |
| 40 | 真空泵.SLDPRT | 70.12K |
| 41 | 组合5.SLDPRT | 47.45K |
| 42 | 联轴器.SLDPRT | 106.41K |
| 43 | 联轴器2.SLDPRT | 103.84K |
| 44 | 臂1.SLDPRT | 76.69K |
| 45 | 臂2.SLDPRT | 67.76K |
| 46 | 臂3.SLDPRT | 66.41K |
| 47 | 臂3盖.SLDPRT | 54.23K |
| 48 | 臂3端螺母.SLDPRT | 48.21K |
| 49 | 转轴3.SLDPRT | 57.18K |
| 50 | 轴1.SLDPRT | 56.15K |
| 51 | 轴1键.SLDPRT | 46.53K |
| 52 | 轴2.SLDPRT | 56.49K |
| 53 | 轴2端垫片.SLDPRT | 44.10K |
| 54 | 轴2端螺母.SLDPRT | 48.82K |
| 55 | 轴3垫片.SLDPRT | 44.89K |
| 56 | 轴3托盘轴承.SLDPRT | 46.54K |
| 57 | 轴3托盘轴承法兰.SLDPRT | 49.95K |
| 58 | 轴承座1.SLDPRT | 50.38K |
| 59 | 轴端挡圈.SLDPRT | 43.96K |
| 60 | 轴端螺母.SLDPRT | 49.16K |
| 61 | 键2.SLDPRT | 46.63K |
| 62 | 键3.SLDPRT | 46.69K |
| 63 | 键4.SLDPRT | 46.16K |
| 64 | 零件1.SLDPRT | 3.31M |
| 65 |  丝杠.DWG | 301.44K |
| 66 | 主支撑架.DWG | 332.63K |
| 67 | 侧板.DWG | 369.44K |
| 68 | 切除-拉伸24[1].DWG | 303.44K |
| 69 | 圆晶机械手.DWG | 858.81K |
| 70 | 圆晶机械手_recover.dwg | 896.50K |
| 71 | 布局图.dwg | 467.19K |
| 72 | 手臂2上盖.DWG | 300.44K |
| 73 | 托盘.dwg | 322.25K |
| 74 | 支架1.DWG | 319.94K |
| 75 | 盖板2.DWG | 317.28K |
| 76 | 盖板2_recover.dwg | 317.28K |
| 77 | 臂1.DWG | 319.69K |
| 78 | 臂3.DWG | 323.00K |
| 79 | 轴1.DWG | 393.44K |
| 80 | 轴承座1.DWG | 315.03K |
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